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蒸鍍型鎢舟
鎢舟可作為電阻蒸發(fā)源。
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產(chǎn)品介紹
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工作方法
它的工作方法是先將鎢舟安裝在兩個(gè)電極中間，在鎢舟中央加上材料，再慢慢的給電極進(jìn)行通電，電流通過(guò)鎢舟后，鎢舟通電發(fā)熱，這些低電壓，大電流會(huì)使高熔點(diǎn)的鎢舟產(chǎn)生熱量，再熱傳導(dǎo)給鍍膜材料，當(dāng)鎢舟的熱量高于鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候，材料就升華或者蒸發(fā)了。
蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表面析出的過(guò)程。
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