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高溫升降爐用鎢坩堝
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產(chǎn)品介紹
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高溫升降爐在藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)中扮演著核心設(shè)備角色,其通過(guò)精準(zhǔn)調(diào)控藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)及工藝參數(shù),直接決定晶體的質(zhì)量與性能。藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)通常采用提拉法(Czochralski法)或泡生法(Kyropoulos法),這兩種方法均依賴(lài)高溫升降爐提供穩(wěn)定的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)條件。以提拉法為例,首先將高純氧化鋁原料置于爐內(nèi)坩堝中,通過(guò)電阻加熱元件(如硅碳棒)將爐溫升至2050°C以上,使原料完全熔融形成熔體。隨后,將藍(lán)寶石籽晶浸入熔體表面,通過(guò)緩慢提拉籽晶并精確控制溫度梯度,使熔體在籽晶上結(jié)晶生長(zhǎng)。在此過(guò)程中,高溫升降爐的溫控系統(tǒng)需維持±1°C的精度,確保晶體生長(zhǎng)界面的穩(wěn)定性。同時(shí),爐膛采用氧化鋁纖維等高效保溫材料,結(jié)合雙層殼體結(jié)構(gòu)與風(fēng)冷系統(tǒng),有效減少熱量散失,保證爐內(nèi)溫度均勻性。
晶體生長(zhǎng)階段,高溫升降爐的升降機(jī)構(gòu)以1-10mm/h的速度提拉籽晶,同時(shí)通過(guò)調(diào)整加熱功率實(shí)現(xiàn)熔體溫度的動(dòng)態(tài)平衡。這一過(guò)程需持續(xù)數(shù)天至數(shù)周,具體取決于晶體尺寸要求。例如,生長(zhǎng)直徑150mm的藍(lán)寶石晶棒,整個(gè)周期可能長(zhǎng)達(dá)15天。在此期間,藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)控制亦至關(guān)重要,部分工藝需在惰性氣體(如氬氣)或真空環(huán)境下進(jìn)行,以防止氧化或雜質(zhì)污染。
晶體生長(zhǎng)完成后,高溫升降爐還需執(zhí)行退火工藝,以消除內(nèi)部應(yīng)力。傳統(tǒng)“兩步法”退火需在1400°C和1900°C分階段進(jìn)行,而新型“一步法”退火工藝則可在1750-1800°C高溫下直接完成,顯著縮短周期并降低成本。經(jīng)退火處理后,藍(lán)寶石晶片的翹曲度(Warp)和彎曲度(Bow)不良率可分別降低100%和70%,光學(xué)透過(guò)率提升至86%以上。
高溫升降爐的性能直接影響藍(lán)寶石晶體的應(yīng)用領(lǐng)域。高質(zhì)量晶體可切割成厚度0.4-2mm的晶片,用于LED襯底、智能手機(jī)攝像頭保護(hù)玻璃、航空航天窗口材料等。例如,蘋(píng)果公司曾采用藍(lán)寶石晶體作為iPhone主屏幕,雖然后續(xù)因成本問(wèn)題改用玻璃,但其在智能手表表鏡的應(yīng)用仍廣泛存在。此外,藍(lán)寶石晶體在軍事紅外探測(cè)器、激光基質(zhì)等領(lǐng)域的應(yīng)用,也對(duì)其熱導(dǎo)率(45W/m·K)和抗彎強(qiáng)度(1000MPa以上)提出嚴(yán)格要求,而這些性能均與生長(zhǎng)爐的工藝控制精度密切相關(guān)。
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