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濺射靶材的組成，結(jié)構(gòu)，種類，以及應(yīng)用有那些

發(fā)布時間：

2025-01-03

1. 組成

濺射靶材的組成取決于應(yīng)用需求，可分為以下幾類：

  • 金屬靶材：單一金屬元素，如鋁（Al）、銅（Cu）、鈦（Ti）、金（Au）、銀（Ag）等。
  • 合金靶材：多種金屬元素組成的合金，如鋁硅（Al-Si）、鋁銅（Al-Cu）。
  • 陶瓷靶材：非金屬化合物，如氧化物（Al?O?、ZnO）、氮化物（TiN）、碳化物（SiC）。
  • 化合物靶材：如硫化物（MoS?）、硅化物（NiSi?）。
  • 復(fù)合靶材：多種材料的復(fù)合，例如金屬和氧化物的復(fù)合靶材。

2. 結(jié)構(gòu)

濺射靶材的內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)和加工方式對性能有重要影響：

  • 致密性：高致密度靶材具有更高的濺射效率和均勻性。
  • 晶粒大小：晶粒越細(xì)小，薄膜的均勻性越高。
  • 均勻性：靶材的成分均勻性決定了沉積薄膜的均勻性。
  • 純度：高純度靶材減少了薄膜中的雜質(zhì)，提升薄膜的電學(xué)、光學(xué)性能。

3. 種類

根據(jù)形狀和使用特點(diǎn)，濺射靶材可分為：

  • 平面靶材：常見于平面濺射設(shè)備，形狀多為矩形或圓盤。
  • 旋轉(zhuǎn)靶材：用于大面積鍍膜和高效生產(chǎn)，通常為圓柱形。
  • 特殊形狀靶材：如異形靶材，滿足特定應(yīng)用需求。

根據(jù)功能分類：

  • 導(dǎo)電靶材：如鋁、銅，主要用于電子元器件。
  • 透明導(dǎo)電靶材：如ITO（銦錫氧化物），用于觸控屏、顯示器。
  • 硬質(zhì)涂層靶材：如TiN、CrN，用于刀具和模具。
  • 磁性靶材：如CoFe、NiFe，用于磁存儲器件。

4. 應(yīng)用

濺射靶材廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

電子與半導(dǎo)體

  • 集成電路：鋁、銅用于布線層；鈦、鉭用于擴(kuò)散阻擋層。
  • 存儲器：磁性靶材用于制造磁存儲薄膜。
  • 顯示器：ITO靶材用于觸控屏、OLED、LCD顯示器。

光學(xué)與光電

  • 光學(xué)薄膜：如抗反射膜、增透膜，常用SiO?、TiO?等靶材。
  • 太陽能電池：TCO（透明導(dǎo)電氧化物）靶材用于薄膜太陽能電池。

裝飾與硬質(zhì)涂層

  • 硬質(zhì)工具涂層：如TiN、CrN，用于提高耐磨性和使用壽命。
  • 裝飾性涂層：如金屬靶材用于制造色彩鮮艷的裝飾薄膜。

能源與環(huán)境

  • 儲能裝置：鋰電池電極材料如LiCoO?、LiMn?O?。
  • 氣體傳感器：如ZnO、SnO?薄膜材料。

醫(yī)療與生物

  • 生物相容性涂層：如TiN、TiO?，用于醫(yī)療植入物表面。

未來發(fā)展方向

  1. 高純度與高致密化：提高薄膜性能的核心技術(shù)。
  2. 復(fù)合材料靶材：滿足多功能薄膜的需求。
  3. 可持續(xù)性材料：開發(fā)環(huán)保型和資源節(jié)約型靶材。
  4. 大型化和復(fù)雜化：適應(yīng)大面積和復(fù)雜形狀鍍膜設(shè)備的需要。