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鉬鉭靶材

鉬鉭靶材是一種用于物理研究和半導體制造等領域的重要材料。 鉬(Mo):鉬是一種過渡金屬元素,具有優(yōu)異的高溫性能和化學穩(wěn)定性。 在鉬鉭靶材中,鉬通常是主要的組成元素之一。 鉭(Ta):鉭是一種稀有金屬元素,具有極高的熔點和化學穩(wěn)定性,是鉬鉭靶材的另一重要組成元素。

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  • 產品介紹

    鉬鉭靶材是一種用于物理研究和半導體制造等領域的重要材料。

    鉬(Mo):鉬是一種過渡金屬元素,具有優(yōu)異的高溫性能和化學穩(wěn)定性。 在鉬鉭靶材中,鉬通常是主要的組成元素之一。

    鉭(Ta):鉭是一種稀有金屬元素,具有極高的熔點和化學穩(wěn)定性,是鉬鉭靶材的另一重要組成元素。

    物理性能

    高熔點:鉬和鉭都具有極高的熔點,分別為2623°C和3017°C,因此鉬鉭靶材具有出色的耐高溫性能。

    高密度:鉬和鉭都具有較高的密度,鉬的密度約為10.2克/立方厘米,鉭的密度約為16.7克/立方厘米,因此鉬鉭靶材具有較高的質量吸收能力。

    應用領域

    物理研究:鉬鉭靶材常用于物理研究領域,如核物理實驗、粒子加速器、等離子體物理等,用于產生高能量的離子束或電子束。

    半導體制造:在半導體制造工藝中,鉬鉭靶材常用于物理氣相沉積(PVD)或磁控濺射(sputtering)等過程中,用于沉積或鍍覆薄膜,制備電子器件、光學器件或涂層材料。

    制備方法

    粉末冶金法:鉬和鉭粉末按一定比例混合后,經過壓制、燒結等工藝制備成塊狀或片狀的鉬鉭靶材。

    熔煉法:鉬和鉭可以通過真空熔煉或等離子弧熔煉等方法制備成塊狀或片狀的鉬鉭靶材。

    特殊合金

    有時,為了改善靶材的特性,鉬鉭靶材可能會添加其他元素,如鉻(Cr)、鈮(Nb)等,以調節(jié)材料的性能和應用范圍。


關鍵詞:

鉬鉭靶材


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