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鈮靶材
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產(chǎn)品介紹
鈮靶材是一種用于物理研究和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的重要材料。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高熔點(diǎn):鈮具有較高的熔點(diǎn),約為2477°C,因此鈮靶材具有出色的耐高溫性能。
良好的化學(xué)穩(wěn)定性:鈮具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,在常溫下不易與其他元素發(fā)生反應(yīng),因此鈮靶材在使用過(guò)程中不易氧化或腐蝕。
高密度:鈮具有較高的密度,約為8.57克/立方厘米,因此鈮靶材具有較高的質(zhì)量吸收能力。
應(yīng)用領(lǐng)域
物理研究:鈮靶材常用于物理研究領(lǐng)域,如核物理實(shí)驗(yàn)、粒子加速器、等離子體物理等,用于產(chǎn)生高能量的離子束或電子束。
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造工藝中,鈮靶材常用于物理氣相沉積(PVD)或磁控濺射(sputtering)等過(guò)程中,用于沉積或鍍覆薄膜,制備電子器件、光學(xué)器件或涂層材料。
制備方法
粉末冶金法:鈮粉末經(jīng)過(guò)壓制、燒結(jié)等工藝制備成塊狀或片狀的鈮靶材。
熔煉法:鈮可以通過(guò)真空熔煉或等離子弧熔煉等方法制備成塊狀或片狀的鈮靶材。
特殊合金
有時(shí),為了改善靶材的特性,鈮靶材可能會(huì)添加其他元素,如鉻(Cr)、鈦(Ti)等,以調(diào)節(jié)材料的性能和應(yīng)用范圍。
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